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ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれ?

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ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれでしょうか?

a.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ
ターボ分子ポンプ(排気速度:2m2/s)がN2ガス流量20Pa・m3を排気
B-A真空計

b.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」油回転真空ポンプ
ターボ分子ポンプの到達圧力
ピラニー真空計

c.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプ
ターボ分子ポンプの到達圧力
B-A真空計

d.
「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ
ターボ分子ポンプの到達圧力
B-A真空計

e.
「主」ドライポンプ
ドライポンプの到達圧力
B-A真空計

質問者が選んだベストアンサー

  • 回答No.1
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ベストアンサー率 66% (52/78)

先ず、「a」の回答例がおかしいことを指摘しておきます。
ターボ分子ポンプ(排気速度:2m2/s) →(正)2m^3/s
N2ガス流量20Pa・m3 →(正)20Pa・m^3/s

第一ステップ
まず、ポンプの組み合わせの適否をチェックします。

「c」は不適。
「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプには、油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせが必要で、「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプだけで使用したら、両ポンプともオーバーヒートするでしょう。

{c}以外は適切

第二ステップ
次に到達圧力Pと各真空計の測定可能圧力Pgとが合致しているかどうかのチェックを行います。
「a」P=10(Pa)、Pg=10^-8~10^-2(Pa) → 不適切
「b」P=10^-8、Pg=0.5~2,000 → 不適切
「d」P=10^-8、Pg=10^-8~10^-2(Pa) → 適切
「e」P=10^2、Pg=10^-8~10^-2(Pa) → 不適切

従って、「d」が正解

ポンプの使用可能圧力範囲やポンプの組み合わせについては、メーカーホームページになりますが、http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/が参考になるかと思います。
お礼コメント
anagoinago

お礼率 61% (21/34)

詳細および参考URLありがとうございます。
投稿日時:2014/02/14 10:02
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