スパッタ装置の光学窓の汚れ防止，および清掃

質問

スパッタ装置の窓が段々汚くなるのを防ぐのはどうしたら良いでしょうか．スパッタガンの正面でなくサイド，もしくは後方に窓を配置する，とかでしょうか．
また，定期的に掃除はするつもりですが，金属やITOなど，窓材を侵さない腐食剤（塩酸等）で清掃するべきでしょうか．ちなみにIPAぐらいでは全く落ちません．いつかは窓からレーザーを通したいと思っています．
どうかよろしくお願いいたします．

回答No.2

TIGANS · ベストアンサー

残念ながら簡易に防ぐ方法は無いでしょう
基本的には定期メンテの時に洗浄してもらいましょう

薬剤で清掃するのは良いですが　本体や封止剤を侵す可能性があります
大学みたいな研究施設なら窓の内側に　薄い窓材と同じガラスをはめる
ブラケットを加工してもらってそちらを交換して洗浄するという手もあります

お礼

ありがとうございます．
犠牲板の導入は有効かもしれません．
今思いついたのですが，細長いフランジを取り付けてその奥にビューポートを取り付けるやり方はいかがでしょうか．
ターゲットを見るのではなく，基板を見たいので，ビューポートからターゲットが視えないように方向を調整すれば，
膜はほとんどつかないのではないかと思いました．
PLDなど，窓が汚れちゃいけない用途もあるわけですし，
もしかしたらこれらの装置も同じようにされているのかもしれません．

回答No.4

nowane4649

ピカールはアルミナ粉末を油脂に練りこんだものです。ですので、超高真空部品に使用すると表面の微細な凹凸にアルミナ粉末と油脂が詰まってしまい、常温での洗浄では除去しづらい状態となります。
このため、有機炭素汚染を発生させやすくなるという意味でオススメしづらいです。
(加温状態で脱脂剤や有機幼児での超音波洗浄をしっかりすれば大丈夫でしょうが)

あと、紙やすりでの研磨もあまりお勧めしません。窓材に微細な傷を入れてしまい、ベーキング時などに応力集中を発生させ割れる事故が起きやすくなります。
また、光学的に透明な状態にしようとすると普通に売ってる10000番とかのラッピングフィルムクラスの番手の高さを要求さるるので費用対効果に劣ります。

差愛護にピカール研磨がITOコートに使えないと書いたのは帯電防止などあらかじめITOで導電性を確保している製品ではITOコートを削り落として導通不良トラブルを発生させるからです。

回答No.3

hahaha8635

おばーちゃんの知恵袋じゃないが
水＋サンドペーパーで落ちます
https://minkara.carview.co.jp/userid/226161/blog/31180027/

ダイヤモンドだと研磨します
http://www.kis.gr.jp/page/diamond.html

激落ちくん(100均で売ってるやつ)
だと　スパッタ汚れはきつそう

回答No.1

nowane4649

よく見かけるのはビューポートシャッターという部品をビューポートの前に設置する方法でしょうか。
スパッタ時はシャッターを閉じて、ビューポート表面への付着を防ぎます。
あとはビューポートの前にガラス版を設置して汚れを肩代わりさせるっていうのをどこかで見たけど見つかりません。

あと、真空度が低くて有機炭素汚染に鈍感なシステムならピカールでの研磨が有効です。
スパッタ膜程度なら結構簡単に削り落としてくれます。
当然ITOコート部品にじは使えません。

お礼

ピカールは，ITOスパッタ装置には，使えないという結論でよろしいでしょうか．
真空度は一度10-8Paまでさげますので．

ビューポートシャッターは便利そうですね．検討してみます．