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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:レジスト塗布について)

レジスト塗布について

このQ&Aのポイント
  • レジスト塗布方法を紹介!110mm×110mmの40ミクロン厚の銅箔にレジストを塗布する手順とは?
  • レジストの塗布方法を解説!110mm×110mmの銅箔に40ミクロン厚のレジストを均一に塗る手順をご紹介します。
  • 110mm×110mmの銅箔に40ミクロン厚のレジストを塗る方法を詳しく解説!レジスト塗布の手順をお伝えします。

質問者が選んだベストアンサー

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noname#230359
noname#230359
回答No.1

No.21889との関連が気になりますが、やはりレジスト塗布がマストでしょうか?マスキングフィルムはNGでしたか? 切り出しサンプルのサイズおよび銅箔のサイズが許すのであれば、丸に切り出してスピンコートするのが良いと思います。その際、吸着用のチャックは丸と同じサイズにする必要があります。スピナーのメーカに問い合わせれば対応してくれると思います。 レジスト種類を問わないのであれば、ドライフィルムレジストをラミネートするのはいかがでしょうか?100℃前後、圧力1MPa前後の負荷はかかりますが。 現物は見たことありませんが、ディップコータ、スリットコータというのもあるそうです。スリットコータはかなり高精度で塗布できると聞いたことがあります。

参考URL:
http://www.asahi-kasei.co.jp/akemd/dfr/jp/index.htm
noname#230358
質問者

お礼

スピンコートなんですが、レジストを多く無駄にしてしまうので今回は、 スピンコートをしないことにしました。マスキングフィルムもあまり気が進みませんでした。ドライフィルムレジストというものをやってみようと思います。100度、1MPa程度でしたら大丈夫です。いろいろありがとうございます。

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