レジストの光源の短波長化による高感度化について

質問

最近レジストについて学び始めた者です。
レジストのより詳細なパターン形成のためには、光源を短波長化するのが１つの方法であると知ったのですが、その理由がわかりません。
ご存知の方がいたら、どうか教えてください。
よろしくお願いします。

回答No.2

csi-tof · ベストアンサー

先の「なぜいろんな波長向けのレジストがあるのか」という質問と併せて考えるに、
質問者様は「回析限界」についてご存じないのかと感じました。
「回折限界」「レイリーの式」で検索してみてください。よいサイトがたくさんヒットします。
「光の波動性・粒子性」といった量子化学的なお話になります。
基本は「波長の1/4より小さいサイズの像は投影できない」です。

短波長の光源や光学系が簡単に安くは作れないので、ここ数十年で少しずつ技術アップして短波長化してきています。
「液浸」なども現在のキーワードですので調べてみてください。

あと「レジストの感度」というと、「どのくらいの強度の光で使えるか」をさす事になり、波長ではなくて強さ(光強度や当てる時間)に関する事になるのでご注意ください。
タイトルは「短波長だと弱い光でもOK」という話、本文は「短波長だと微細なパターンがかける」という話をしていることになります。
正しいタイトルは「短波長化による高解像度化」だと思います。

お礼

ご回答ありがとうございます。
早速、回折限界と、レイリーの式について調べてみたいと思います。

回答No.1

noname#160321

単純です。
波長が長い→収束範囲が大きい。
電子顕微鏡のことをお考え下さい、波としての電子は光よりエネルギーが高く波長が短いので小さい物を見ることが出来る。
レジストに電子線を当てることも実際行われますが、紫外線レーザーが安価になったので紫外線レーザーの方が使用される頻度が圧倒的に多くなりました。

お礼

ご回答ありがとうございます。
電子顕微鏡を例にすると、確かにわかりやすいですね。