フォトポリマー（レジスト）の機能する光の波長について

質問

最近レジストについて学び始めた者です。
レジストには波長157nmや、波長193nmの光で機能するレジストもあれば、UV光や、近赤外光で機能するものなど色々な波長の光で機能するものが開発されているようなのですが、なぜこのように色々な固有の波長の光によって機能するレジストが開発されているのでしょうか？
個人的には、全てのレジストが同じ波長の光で機能するようになればいいと思うのですが…
得にUV光などは体にあまり好ましくないということなので、あまり使わない方がいいような気がします。
初歩的な質問で申し訳ないのですが、ご存知の方がいたら教えて下さい。どうかよろしくお願いします。

回答No.1

c80s3xxx · ベストアンサー

細かいパターンを得るためには，波長の短い光が必要．
しかし，波長の短い光は，作るのも扱うのも難しい．
高い解像性がいらないなら長波長に感度があれば十分．
扱いやすいのは，光源にしてもなんにしても可視．
近赤は，半導体レーザで安く強力な光源が使いやすくなった上，光通信に使われている関係もあって，そのあたりでの需要がある．

お礼

ご回答ありがとうございます。
たしかに私が研究している印刷材料に使う光源はUV、可視光、近赤外光ばかりで、157nmや193nmの光は使ったことがありません。
とても参考になりました。

回答No.3

TEOS

紫外線硬化型樹脂でも、さまざま有ります。
光開始剤を加えないと効果が始まりにくいです。
私は作りかけているけど、なかなか良い製品が出来ません。
無色透明で、ハードコート素材のものは・・・・
既に完成している物の場合、一番に応用されているものは、
インクです。高速印刷の場合、有機溶剤型の場合速乾性を求めると
低沸点で揮発性が高い物が要求されますが、その場合有機溶剤が、
引火する恐れが有るし、作業する人も有害物を吸い中毒になります。
そこで、非溶剤型のＵＶ硬化型のインクを使うと、即座に乾くし
中毒になりません。　あなたが　お使いのプリンターのインクも
たぶんＵＶ硬化型だと思います？。　印刷してすぐに乾いているでしょ？
溶剤臭もほとんど無いと思います。　ペンキみたいな溶剤型のインクなら高速印刷出来ずに、ベタベタだと思うけど。
みんなの生活に既に溶け込んでいます。
接着剤でもＵＶ硬化型が存在しますよね。？

太陽光の紫外線で硬化するものは、取り扱いに苦労すると思いませんか？　なるべく自然光の紫外線とは異なる波長で硬化する樹脂の方が
取り扱いが楽ですよね。　光開始剤の種類で変えられると思うのですが
違う波長の硬化樹脂があるのはその為だと思います。
もう、30年以上前から、紫外線硬化型樹脂の研究はしてますから、
初期のころは、カブレ易いなどトラブルが色々有りました。
その間に、改良研究されて、ＵＶ硬化樹脂は増えていると思います。
有機溶剤型樹脂だと、溶剤が飛ぶと膜厚が薄くなるし、溶剤臭も有害
熱硬化型樹脂も色々有るよね。ウレタン系とかね。
粉体塗料も無溶剤で熱硬化型だよね。

あなたの研究も、光硬化型樹脂だよね。
無溶剤が主流になっていると思いませんか？

お礼

ご回答ありがとうございます。
たしかに、無溶剤が主流になっていると思います。
ありがとうございました。

回答No.2

yasuhiga

まず、近赤外の機構は知りません。すいません。

193nmもUVに入りますよ。157nmは軟X線領域かも。
まあ、いいとして、No.1さんのいうとおりです。
付け加えれば、
短波長のレジストだけではパタンは写せませんよ。当たり前だけど、対応する機器が必要です。ということは、光学デバイスが必要で、193nmだとミラーとかが限定される。（X線領域だと回折用の多層膜が必要）
解像度が要らないのであれば、高価な機器の頻繁な更新は避けたいでしょうから、従来機器でパタンを写せばいいでしょう。
ということで、どうしても、解像度が必要な時、上記の短波長を使う理解でいいと思います。

あと、UVの危険性ですが、服を着て、眼鏡をかける必要がある以外に、193あたりからオゾン発生も考える必要があり、光路を真空にするか、ヘリウム置換しないといけません。ああ、これだけ考えるだけでも、高そう。

お礼

ご回答ありがとうございます。
UVの危険性なども、知っておけばこれからの実験で役に立ちそうです。
ありがとうございました。