ワイヤーボンディングで超音波が伝わらないという現…

質問

ワイヤーボンディングで超音波が伝わらないという現象とは

超音波が伝わらないという現象とは、実際にはどのような現象が起こっているのでしょうか？
本で調べた範囲では、Ａｕ－Ａｌの一般的な合金接合の場合、ＩＣの固定が不十分で、キャピラリーの振動と一緒に対象物が動いてしまい、十分な摩擦力（摩擦熱？）が得られず、合金が出来ないとあったのですが、この理解で問題有りませんか？
また、固定が不十分かどうか検証する方法は有りますか？

回答No.3

noname#230359 · ベストアンサー

超音波が伝わらないと言う現象には次のことが考えられます。

１、対象品種の固定不具合
フレーム及び基板の浮きにより超音波の発振出力が漏れてしまい伝わらない。
２、チップの固定不具合
ペースト（エポキシ等）の濡れ性不足によって起こるチップの浮き傾きやボイド現象による超音波発信の漏れ
３、適正条件外での実装による不具合
適応出力に対しボンディング荷重が軽すぎると平面状に超音波が暴れる現象が起こり、重すぎればキャピラリを押さえ込んでしまう為に振幅が打ち消されてしまう現象となる。
４、スタック品などによる影響
オーバーハングされたスタック品などではチップが空中に浮いているため、超音波が的確に伝わらず、超音波の漏れ等により不具合が発生する。

これらの不具合によって起こる影響は何れも合金形成の不足によるものとなります。

キャピラリと対象物が同時に動くことで超音波の振幅（摩擦）が正常に伝わらないことも確かです。また浮きや、ボイドの影響にて超音波が空中に逃げてしまうこともあります。
結果的に不着（合金不足）やボール形状不良（超音波の漏れ）の要因となります。

回答No.2

noname#230359

初めまして
固定が不十分かのどうかの検証で簡単な方法はシェアがあります。
固定されたＩＣを横からテンションゲージ等で押しシェア強度を観ればどの程度の固定状態かわかります。

回答No.1

noname#230359

はじめまして。
ワイヤーボンディングは熱、超音波、荷重によってアルミの拡散作用によって接合(合金)をつくります。
超音波が伝わり難いとは質問の内容にあったように
部材固定が不十分で超音波の振動と一緒に動いてしまう事を言います。
合金の有無は超音波だけではなく上記の様に熱、超音波、荷重の３種類を上手く組み合わせて出来ます。