真空環境下での滑り止めパッド用ゴム素材の選択方法
- 真空の雰囲気で使用するため、アウトガスが少なく、滑り止めのパッド製作に最適な素材のゴムは、何を選択すればいいのでしょうか？
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- 真空環境で使用される滑り止めのパッドに最適なゴム素材の選択についてアドバイスをいただけますか？
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最適なゴム素材選択するには
真空の雰囲気で使用するため、アウトガスが少なく、滑り止めのパッド製作に最適な素材のゴムは、何を選択すればいいのでしょうか？ 半導体製造装置の真空チャンバー内でのSiウエハー搬送アームに取り付けます。
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フッ素ゴムが最適です。 テクノフロンのＦＯＲ４３５をお奨めします。 （私はメーカーとは無関係です）
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