真空装置内のウエハ搬送における割れ・欠け検出のためのセンサは存在するか？
- 真空装置内で搬送中のウエハに割れ・欠けが無いか、検出できるセンサはないでしょうか？
- ウエハを搬送中に割れや欠けが生じた場合、修復に時間とコストがかかるため、事前の検出が望ましいです。しかし、真空状態では通常の光学センサが使用できないため、他の検出手法が必要となります。
- 真空装置内で搬送されるウエハに割れ・欠けがないかを検出するための新たなセンサ技術の開発が求められています。特に、ウエハの表面状態を非接触で検出できる高感度なセンサが必要とされています。
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搬送中のウエハ
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何処まで検出か不明ですが、処理後に検査機に掛けた方が良いのでは？
高精細画像処理やシュリーレン撮像で可能です。 装置ローダーのオプション指定できますよ。
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