ウエハを検出するセンサーについて
- ウエハを検出するセンサーについての質問です。
- 現在、ウエハを検出するセンサーは静電容量型センサーが主流ですが、最近の指示で制電容量センサーへの変更が必要とされました。
- 現在使用しているオムロンの反射型センサーではサイズが大きすぎるため、小型の静電容量型センサーの情報を求めています。
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ウエハを検出するセンサーについて
各位、いつもお世話になっております。 １点質問させて頂きたいのですが、 現在、ウエハを検出するセンサーは静電容量型センサーが主流であると 聞きました。 現在、６φのウエハがカセットに入ってきたのを確認するセンサーを オムロンの反射型センサー（EE-SY672）を使用しています。動作確認 を行い、正常にウエハの検出が可能であることを確認しましたが、客先 から制電容量センサーに変更が可能であるように指示されました。 そこで同じオムロンから静電容量センサーの有無を調べたのですが E2K-X4ME1(静電容量ｾﾝｻ)が一番小型でした。 現状のユニットにはこれでも大きいので使用できません。もっと小型の 静電容量型センサーを使用した経験がおありのかた、サイト名など 教えて頂けないでしょうか？ 宜しくお願い申し上げます。 以上です。
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フォトセンサーでもやっていますよ。 CCD用のデバイス工程等の一部を除いては。 カセット（キャリア）に入ったウエハを一度に確認する 櫛歯Typeのセンサもあります。 確か、オムロンにもあったかな？ キーエンスさんか山武さん等で、ウエハの枚数確認センサ の資料を入手すると判ります。 また、事情をセンサメーカーに話しますと、ユーザー名は 教えてもらえませんが、他社の使用方法を教えてくれますよ。
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良い情報ありがとうございます。