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(真空)液体材料TEOSについて(虫食い)

(1)、(2)に入る組み合わせをa~dから選びなさい。 液体材料TEOS(テトラ・エチル・オルソ・シリケート モル質量:208g/mol)は気化された後、プロセス室へ供給される。気化したTEOSが240sccmでMFCへ流れるように調整。1プロセスが10分とすると1プロセス(1)molのTEOSを消費する。 タンク内のTEOSの質量が6240gの時、このプロセスを(2)回行うとタンクは空になる。 (1) a. 1.783x10^-3 b. 0.107 c. 0.107 d. 1.783x10^-3 (2) a. 16800 b. 16800 c. 280 d. 280

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  • gohtraw
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回答No.1

SCCMは標準状態のガスが一分間に流れる量(cc/分)ということかと思います。 240SCCMで10分流すと2400SCCM、つまり2.4ノルマルリットル(Nl)です。 1モルは22.4 Nlですから、2.4Nlは 2.4/22.4≒0.107 モル となります。 0.107モルのTEOSは 0.107*208≒22.3 g ですから、6240gのTEOSを使い果たすまでには 6240/22.3≒280 回 のプロセスが可能です。

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