- ベストアンサー
超高真空装置用の材料とは?
放出ガスの観点から超高真空装置用の材料として相応しいのは? a.SUS(電解研磨)・アルミ(アルピカ処理) b.SUS(未処理)・シンチュウ c.テフロン・アルミ(アルピカ処理) d.鋳鉄・ハンダ
- anagoinago
- お礼率61% (21/34)
- 物理学
- 回答数2
- ありがとう数1
- みんなの回答 (2)
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
放出ガスの観点から超高真空装置用の材料として相応しいのは? 「a.SUS(電解研磨)・アルミ(アルピカ処理)」である。 「b~d」が相応しくない理由は以下の通り。 b.シンチュウは銅と亜鉛の合金で、亜鉛は蒸気圧が高いので真空材料としては不向き。 c.テフロンは、絶縁体であり比較的耐熱性も高く、真空装置内に高電圧を導入する場合など(例えばスパッ。タ―装置など)の構成材料として利用され、超高真空装置に使われはなくもないが「a.SUS(電解研磨)・アルミ(アルピカ処理)」に比較すると耐加熱性に弱さがある。 d.鋳鉄内部を分子的尺度で見たらトンネルだらけの素材であり、そこから吸蔵&吸着ガスが放出されるので不向き。 また、半田も蒸気圧の高い鉛が含まれているので真空材料としては不向き。 ※b.の補足 亜鉛が真空材料として不向きな理由の詳細は、日本真空学会の雑誌「Journal of the Vacuum Society of Japan」の2011年7・8月合併号の記事「講座:真空技術者資格試験への手引き(4)」に載っています。(http://vacuum-jp.org/NINTEI/JVSJ54-78_p458.pdf) 同雑誌の記事は公開されており他の記事もhttps://www.jstage.jst.go.jp/browse/jvsj2/-char/jaで閲覧でき、真空の基礎講座的な記事も多々あります。
その他の回答 (1)
- nananotanu
- ベストアンサー率31% (714/2263)
取敢えず、ベーキングが必要だから、熱に弱い半田は無し、かなぁ
関連するQ&A
- 真空槽の内面処理について
真空槽の内面処理には、バフ研磨、電解研磨などがあるようですが、 超高真空(10^-7 ~ 10^-8 Pa)の場合にはどれくらい行えばよろしいでしょうか。 バフ研磨にはレベルがあるようですが、どういうものでしょうか。 よろしくお願いします。
- 締切済み
- 物理学
- 金属材料の真空加熱について
真空蒸着装置などで金属材料を加熱処理すると、金属材料表面の汚れがきれいになります。 加熱処理をするとなぜ表面がきれいになるのでしょうか。 加熱された金属にはどのような現象がおきているのでしょうか。 ご教授お願いします。
- ベストアンサー
- 金属
- 電解研磨特性について
ご質問させて頂きます。 現在電解研磨に関して調査しておりますが、どうしても分らない項目が あります。現在、素材研究の担当になっており電解研磨の表面のすべり性に着目しております。 1、板金材料に関しまして加工可能材料は?? 逆に処理不可の板金材もあるのでしょうか?? (SPCC,SECC,アルミ,SUS304/430・・・等 それ以外にも知りたいと思っております) 2、表面粗さは?? Raなどの粗さ表示で上記の材料処理後の粗さを知りたいと思っております。 3、どの材料に関わらず処理後サンプルを譲っていただける業者さんを知りたいと思っております。 まとまりのない質問ですが、ご回答お待ちしております。
- 締切済み
- 熱処理
- 塩化アルミニウム(AlCl3)発生器の材料
Φ60×500mmのSUS316Lパイプで作った容器をマントルヒーターで400℃に加熱します。容器内には高純度アルミチップが貯めてあり、そこを塩化水素ガスが通り反応し塩化アルミニウム(AlCl3)ガスを作り出す仕組みです。 2Al+6HCl→2AlCl3+3H2 不活性ガスをキャリアーとして添加してます。 容器の内壁からの不純物放出が起こらないようにしたいんです。 SUS316Lが適した材料でしょうか? ほかに良い材料はありますか? インコネルは高すぎるし、SUS317J1やSUS836Lはどうでしょうか?
- 締切済み
- 金属
- 真空部品(SUS304フランジ)について
真空装置(-8乗Paぐらい)を使っているのですが、 SUS304を加工してフランジ代わりに使いたいと思っています。 加工したSUSをそのまま装置に取り付けて、ベーキングを いつもより長めにやるだけで大丈夫でしょうか? ガスが出ないように、何か他にする事とかあるのでしょうか?
- ベストアンサー
- 物理学
- ステンレス鋼の表面仕上げ
ステンレス鋼の表面仕上げにいてお聞きしたい事があります。SUS304やSUS316などではよく見かけます。また、SUS420J2ではハサミなどにも行われています。しかし、析出硬化型のSUS630には普通は電解研磨はしないのでしょうか?しなければ表面処理はどの様にすればよいのですか? また、電解研磨の前にはバフ研磨をしますが、サンドブラストなどはしないのですか? 宜しくお願いします。
- 締切済み
- 金属
- SUS420J2への電解研磨
基本的な質問です。 電解研磨により金型表面を鏡面処理しようと考えております。 SUS304、316などのオーステイナイト系ステンレス鋼への電解研磨の実施例などはよく見かけるのですが、SUS420J2などのマルテンサイト系ステンレス鋼への電解研磨は有効なのでしょうか?曇ったような面になるようにも聞いたことがあるのですが・・・ご教授ください。
- 締切済み
- その他(表面処理技術)
- アルミダイキャストの表面処理
アルミダイキャスト(ADC12)をまず下処理として、バフ研磨し、その後 導電性テフロン又は、無電解ニッケルテフロンを施し、最後に表面を サンドペーパー#2000で磨き上げるという工程をした部品があります。 この部品上を非常にデリケートな製品を接触させる為、この製品に傷が 入ることがあります。バフ研磨とか、ペーパー掛けは、その作業者の 技量に左右され、品質のバラツキも大きい。 品質を安定させる為の、導電性の表面処理や、バフ研磨に代わるよいものは ないでしょうか?
- 締切済み
- 金属
- 真空容器からのガス放出速度
2(m)x2(m)x0.3(m)の真空容器全体からのガス放出速度をビルドアップ法で求めました。 時間(min) 0 30 60 120 圧力(Pa) 1.0E-06 3.9E-04 5.9E-04 9.8E-04 装置全体のガス放出速度としてふさわしいのはどれか? a.1.3x10^-6 b.3.0x10^-7 c.3.0x10^-6 d.1.3x10^-7(Pam3 s-1) Arガスを流してスパッタを行う、不純物濃度を1/10000以下にするための最低のAr流量 として相応しいのを選びなさい。 a.0.2 b.0.8 c.2 d.8(sccm)
- 締切済み
- 物理学
お礼
詳細までありがとうございます。