真空槽の内面処理について

質問

真空槽の内面処理には、バフ研磨、電解研磨などがあるようですが、
超高真空(10^-7 ~ 10^-8 Pa)の場合にはどれくらい行えばよろしいでしょうか。
バフ研磨にはレベルがあるようですが、どういうものでしょうか。

よろしくお願いします。

回答No.3

アウストラロ ピテクス（@ngkdddjkk）

すみません、補足です。その友達の研究はデバイス作製なんで、物理実験といった意味合いでは異なるかもしれません。

回答No.2

アウストラロ ピテクス（@ngkdddjkk）

超高真空を扱っている友達に聞いたところ、やすり傷が残る程度でも、削りカスを取り除いてあればいいそうです。

それよりも、水、窒素、二酸化炭素を排気することが重要です。150℃くらいで1週間ほど引くことをおすすめしますとのことです。

回答No.1

アウストラロ ピテクス（@ngkdddjkk）

そこまで詳しくないんですが、ゲッター効果が表面積に比例するため、目が細かいものでできるだけ平坦にした方がいいと思います。

あと、真空引き中に焼きまくる。

補足

回答ありがとうございます。
できるだけ平坦にするというのは分かるんですが、どれくらいというのが全然見当がつかないんですよね。
注文するときに「できるだけやってください。」というのも不可能ではないと思いますが、それだと過剰品質になりそうで避けたいですね。お金もかかりますし。