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スペクトルの Fitting について

XPSを用いて測定したスペクトルの Fitting がうまくいきません。 光イオン化断面積の大きな準位の 比較的対称なピークさえ、 うまくフィットすることができません… Gauss関数を用いたFittingではうまくいかないものなのでしょうか? ピークの形に影響を及ぼす要因は いくつか考えられるのですが ピークフィットするにあたり それぞれの要因に対して、どのように重みをつけるべきなのか 全く分かりません ピークフィットするにあたってよい方法があれば教えてください

質問者が選んだベストアンサー

  • ベストアンサー
  • akuz
  • ベストアンサー率66% (18/27)
回答No.2

#1です。  ◇弾性散乱が主要因です。 お問い合わせの参考資料として、下記HPのNo.1679 XPSにおいて発生分布の非対称に与える弾性散乱効果の検討 佐藤 仁美、田中 彰博、一村 信吾、城 昌利、田沼 繁夫、吉原 一紘 などは kuwamanmaさんのご希望に添える回答として如何でしょうか? 実際、XPS分析にて波形分離すると非対称性入力項がありますネ。 PS;これから出張なので、暫く回答出来ませんが申し訳ございません。

参考URL:
http://www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/sssj/Vol17/Vol17_08.htm
kuwamanma
質問者

お礼

ありがとうございます とりあえず、フィット、フィットを実行してみます では出張頑張ってください。 今後もXPS関係の質問を投げかける事があると思いますが そのときはどうぞ宜しくお願いします

その他の回答 (3)

  • First_Noel
  • ベストアンサー率31% (508/1597)
回答No.4

お教え頂き,有難う御座いました. やはり異なっていたのですね...係る広がりも異なっていたかも知れません.. 私,勉強になりました. 以下,一般論のみとなります. >どちらかが著しく小さい値になっていたような… >あれにはどういう意味があるのでしょうか? その場合は小さい方の影響は非常に小さいか,無視してもいいくらいではと思います. ガウス幅wg,ローレンツ幅wlとして,フォークト幅wvは, wv= wl/2 + √(wl*wl/4 + wg*wg) となりますが,wv自体には物理的な意味はないと思います.

kuwamanma
質問者

お礼

回答ありがとうございます ピークの幅、位置 それぞれに物理的解釈を付与しなければ せっかく測定した実験データが 台無しになってしまいますね… とりあえず 今はガウス関数を用いて一通り 実験データのスペクトルをフィットしているので 後でVoigt関数を使ってフィットしてみたいと思います 補足にまで答えていただき ありがとうございました

  • First_Noel
  • ベストアンサー率31% (508/1597)
回答No.3

XPSとは何か知らず,分光器で発光分光,レーザーで吸収分光しか経験ありませんが,蛇足まで... フィッティングでガウシアンでうまく行かなそうなときは, Voigt関数でフィッティングしていました. 原子種によっては,Stark広がりとか圧力広がりでローレンツ幅が混入して来ますが, Voigtフィットすれば,ガウス幅とローレンツ幅は分離できますので. バックグラウンドですが,明らかに斜めになっているときは,1次関数を重ねました. 重み付けですが,CCD検出器で観測する多くの場合,ポアソン分布に従うとして, 強度の√を重率としました. XPSと無関係でしたらゴメンナサイ.

kuwamanma
質問者

補足

いえいえ、ありがとうございます XPS(X線光電子分光法)は光電効果を利用して、 X線を入射することで放出される光電子を 検出して電子状態を調べるものです 理論などの深い知識はないので はっきりとしたことは言えませんが 励起状態から緩和状態に電子が落ち込むときに 放出されたX線を検出するXES(X線発光分光法)との相関はあり 似ている形のスペクトルが得られます ピークを増やしたり、Voigt関数を用いてフィットするにあたって 考えるれる因子は異なるとは思いますが… ところでVogit関数でフィットした時、 Gauss幅とLorentz幅が分離できるとはどういうことですか たしかに幅のパラメーターが2つ現れるのですが どちらかが著しく小さい値になっていたような… あれにはどういう意味があるのでしょうか? ピーク全体の幅はを知るには どうすればよいのでしょうか?

  • akuz
  • ベストアンサー率66% (18/27)
回答No.1

カープフィッティングの件は、私も悩んだ経験あります。 そのとき得た、エッセンスのみご紹介します。 ◇波形分離のポイント! 1.カープフィッティングの基本は、ガウス分布を使う。  ローレンス分布は、最終手段。 2.波形分離は、必要最小限の数で行なう。 3.波形分離は、原波形の裾野と合成波形が一致するように  ピーク位置、ピーク高さ、半値幅を決める。  半値幅は概ね 1.8eV近傍であるが、ズレる場合もある。 4.原波形の裾野とピーク合成波形が合わない場合、新たなピーク存在を考える。  例)SiO2の場合、SiOの存在。 上記でもおかしい場合には、初心に返り再確認。 ◇初心に返り再確認。(測定が正常ないか?) 1.試料は帯電していないか?  繰返測定では注意必要。  毎回ピーク位置を確認出来るモードにて測定する。 2.経時変化試料ではないか? 3.測定回数(S/N比)は適当か?  波形が粗いデータを無理してスムージングしていないか? 上記は XPSをやり始めた17~10年前にかけて、XPS メーカ-5社 並びに分析研究者、計約40名の方へ同一質問を繰り返して 私なりにまとめた結論です。                   以 上

kuwamanma
質問者

補足

御指導ありがとうございます 早速フィットしてみます あと1つ、もしよろしければ教えてください 理論を大して理解していない僕が こんなことを言うのもおこがましいのですが 論文のXPSスペクトルを見て どうも非対称なピークにしか見えないモノも多く 論文では実験に基づいたデータに関する ピークの幅やエリアについて 述べられてるモノは少ない (というか見たことがない…) と感じるのですが ピークフィットに関して細部まで (バックグラウンド,用いた関数など…) 述べられている論文などご存知でしたら 教えてください

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