半導体 Low-ε

質問

Low-εっていったいどんなものですか？

回答No.2

sanori · ベストアンサー

εは誘電率を表す記号（シンボル）です。
ですから、Low-ε は、誘電率が低いこという意味です。

ＬＳＩでは、通常、配線層が２つ以上（２階建て以上）ですが、
配線同士の容量が大きいと、回路の動作が遅くなります。
ですから、配線層間の絶縁膜は、Low-ε であることが望ましいです。

ＤＲＡＭの容量膜は、それと反対の考え方になります。

お礼

ありがとうございます！
Low-ε用途について教えていただき、とても参考になりました。

回答No.3

noname#160321

＃1のお答えにある低ｋ材料のポーラスシリカが通常用いられますが、特許ではメソポーラスシリカを使用する例が莫大な数出願されています。

お礼

わかりやすく解説していただき、ありがとうございます！

補足

わかりやすく解説していただきありがとうございます！

回答No.1

shintaro-2

>Low-εっていったいどんなものですか？

普通は、Low-k　かHigh-kで、
　前者は相関絶縁膜、後者はゲート絶縁膜に使います。

　low-kの場合は、結局は空気が一番誘電率が低いので、ポーラスなSiO2を採用したと思いますが？

お礼

とても参考になりました。
ありがとうございます！