圧電素子を使った角度調節機構の応用例

質問

圧電素子を使い圧電インパクト駆動を用いて球を微小に回転させて角度を調節する機構を作ろうと考えています。
特徴としては数μｍ単位で球が回転するので球の微小位置決めに最適ということです。
球の大きさは直径で４０ｍｍほどです。

球の代わりに半球を回転させることによってｘ-ｙステージの角度調整のようなものも考えております。

私は応用例として倍率の大きな顕微鏡のステージとして考えましたが、他にも応用例があれば教えてください。
使えそうな分野としては光学系ではないかと考えました。

皆様のお知恵を拝借させてください。
よろしくお願いします。

回答No.1

First_Noel

インデコと言うメーカーから，ミラーの角度調整のためのモーターが，
圧電素子を使っていたと思います．
静摩擦係数と動摩擦係数の違いを利用して，圧電素子の変形速度を変えることで，
ねじをつかんで，まわして送って，と言うことで，直動で精度は５ｎｍとカタログに載っていました．
適宜ご検索下さい．

お礼

検索してみます。
ありがとうございました！