石英ガラスについて

質問

石英ガラスについて、色々と調べて、テスト評価を行っています。
酸・アルカリに対する石英のガラスの挙動（エッチングレート、表面の変化等）を調べているところですが、なかなか判りません。
例えば、塩酸処理だと・・・、HFで処理すると表面が・・・、キズが・・・などといった感じです。
また、石英ガラスのキズ除去には酸化セリウムが使われているということですが、その他にも研磨剤はあるのでしょうか？できれば、その場合の研磨レートを教えていただきたいのですが・・・
私はこの石英ガラスについては全くの初心者です。よろしくお願いします。

回答No.1

densuke

はじめまして。
もしかして、半導体関係の事で調べてらっしゃってるのですか？
エッチングレート薬液や濃度によってかなり変わりますし、メーカー毎の石英（品質グレード）でも差はでますよね。そういった資料は、石英メーカーに確認したり、資料やカタログを頂いたほうがいいと思います。