石英ウエハの洗浄方法と傷の原因について
- 6インチの石英ウエハをPVAスポンジブラシを使用して洗浄しています。しかし、洗浄中に円周状の傷ができる問題が発生しています。ブラシの偏芯が原因の可能性があります。
- 押し付け量を減らすことで傷が薄くなるものの、洗浄能力が低下してしまいます。イボのないタイプのブラシを試してみることで傷の問題を解決する方法もあります。
- ブラシ軸の偏芯が傷の原因となっている可能性があります。軸を交換することで偏芯が解消され、傷が出なくなるという実験結果があります。
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石英ウエハの洗浄
6インチの石英ウエハをPVAスポンジブラシで洗浄しています。 （研磨後の洗浄として） PVAスポンジブラシは直径38mmのイボ付で300r/minの速度で回転しています。 表面・裏面同時での洗浄をしていますが、中心から10mmのところで円周状の 傷がついてしまいます。ブラシは片持ちなので多少偏芯していますが、スポ ンジを押し当てたくらいで傷が入るとは考えにくく原因を追及できなくて 困っております。 （押し付け量は、3mm,3mmウエハに対してストレスをかけています。） 押し付け量を減らすと傷も薄くなっていきますが、洗浄能力が低下してし まいます。 何かお気づきの点ありましたらアドバイス願います。 回答いただき、感謝しております。 イボのないタイプで試してみることにしました。 近日になりますが・・・ イボ無しタイプでも傷が出てしまいました。 ブラシ軸の偏芯に疑いが出ました。計測していませんが、 見た目偏芯しているようなので、軸を交換して傷が出ないのを 確認できました。 いろいろご教授ありがとうございました。
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スクラブ洗浄ですね。 > スポンジを押し当てたくらいで傷が入るとは考え難い ＹＥＳです。 ですから、 ◆ スポンジに異物がありそれが原因 ◆ スポンジを固定している等の突起物がスポンジの中にありそれが原因 等々が先ず考えられます。 できれば、アルミ製又はガラス製のダミーウエハにて、同じように手で接触させて 確認すると判るのではないでしょうか？ （但し、PVAスポンジブラシは汚染してしまい再使用は？？ですが…） http://www.speedfam-clean.jp/tech/ 懐かしい資料です。 さて、新しいPVAスポンジブラシに交換すると、一時的な内容か装置/部品固有の内容か の判断が付きます。（PVAスポンジブラシは、高価ですがね）
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まずはウェア座標でブラシ動径の軌跡を描画してみたらどうでしょう。 滞留点とか生じてないでしょうか？ >> スポンジを押し当てたくらいで傷が入るとは考え難い >ＹＥＳです。 >ですから、 >◆ スポンジに異物がありそれが原因 >◆ スポンジを固定している等の突起物がスポンジの中にありそれが原因 いいんですか？軽々しく言い切っちゃって。 本当に役に立つ回答を、この人がしてくれるのか、逃げちゃうのか、 しばらく静観します。 http://mori.nc-net.or.jp/EokpControl?&tid=240719&event=QE0004 は教訓になってないんだな。まあいいや。
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