• 締切済み

Siとthermal SiO2ってどちらが硬いですか?

Siとthermal SiO2ってどちらが硬いですか? たしか私の記憶ではthermal SiO2のほうが硬度が高かったような気がするのですが・・。 Webでこれらの情報が見れるサイトがあれば教えてください。よろしくお願いします。

みんなの回答

  • nzw
  • ベストアンサー率72% (137/189)
回答No.3

 通常の半導体工学においては、トランジスタ等の(力学的には)静止したデバイスのみを扱うため、半導体研究者の多くは力学的性質に興味がありません。あえてあげるなら、半導体の性質に影響を与える歪関連の性質ぐらいでしょうか。  ただ、最近はMEMS分野の研究が進展していますので、そちらの分野ですと硬度を含めた力学的性質が調べられているようです。  以下のようなサイトを見つけました。どの程度信用できるものかわかりませんが、原典が示されていますので、それらの論文誌を調べれば、より詳しい情報が得られるでしょう。

参考URL:
http://www.memsnet.org/material/
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  • leo-ultra
  • ベストアンサー率45% (228/501)
回答No.2

いわゆる金属がセラミックスよりも一般に“やわらかい”理由は、自由電子を介した金属結合のため、結合の方向依存性があまりないためです。 #1さんがSiは金属だと書きましたが、 Siの結合自体は“方向性のしっかりした共有結合”です。そういう意味ではSiはセラミックスだとも言えます。 SiO2はイオン結合性を少しもった共有結合なので、100%共有結合のSiとはどっちが硬いか、#1さんがおっしゃられるほどくだらない問題だとは思いません。 ちょっと調べてみました。 岩波の理化学辞典によると、Siの硬度は7だそうです。また以下のサイトによると、結晶SiO2(石英)も硬度7とあります。熱酸化SiO2は結晶SiO2よりもやわらかそうな気もしますので、結論は微妙です。

参考URL:
http://www.gongongon.com/encyclopedia%20ka.html
Tuti0520
質問者

お礼

Siとその酸化物であるSiO2は半導体工学では当たり前のような存在なので、当然硬度は調べつくされているのかな?と思いきや、なかなか微妙そうですね。 回答ありがとうございました。こちらでももう少し文献等を調べてみます。

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noname#160321
noname#160321
回答No.1

Siはただの金属です thermalSiO2はセラミックです 後者の方が硬いはずですがなぜこんなものを比較するのでしょうか???

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