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半導体製造工程について

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半導体の製造工程を簡単にフローチャートで教えてください。
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回答 (全4件)

  • 回答No.1

以下のサイトが参考になります。 1.http://ttl.info.co.jp/tech3.html (東京エレクトロン東北) ご参考まで。 ...続きを読む
以下のサイトが参考になります。
1.http://ttl.info.co.jp/tech3.html
(東京エレクトロン東北)

ご参考まで。


  • 回答No.2
レベル5

ベストアンサー率 0% (0/3)

端折って書くと,(1)フィールド拡散(素子分離)(2)インプラ(CMOSの場合)(3)ゲート形成(絶縁膜とポリシリコン膜)(3)層間膜形成(4)インプラ(ソースとドレイン部へのイオンドープ)(5)配線形成(6)保護膜形成,といったところ。 実際にはにはメモリとしての電位を保持するコンデンサをゲートと同じようにドレイン部に形成したり,(5)と(3)を繰り返して大量の素子を回路にしたり,となります。その各工 ...続きを読む
端折って書くと,(1)フィールド拡散(素子分離)(2)インプラ(CMOSの場合)(3)ゲート形成(絶縁膜とポリシリコン膜)(3)層間膜形成(4)インプラ(ソースとドレイン部へのイオンドープ)(5)配線形成(6)保護膜形成,といったところ。
実際にはにはメモリとしての電位を保持するコンデンサをゲートと同じようにドレイン部に形成したり,(5)と(3)を繰り返して大量の素子を回路にしたり,となります。その各工程で,成膜(CVD,スパッタ,電解めっきetc)~ホトリソ(写真製版)~エッチング(ドライやウェット)~レジスト除去,を行います。
  • 回答No.3
レベル1

ベストアンサー率 0% (0/0)

あなたの質問しているのは、ICやLSIに使用されている化合物半導体のことだと思います。富士通カンタムデバイス株式会社のサイトに、初心者向けの解説書が掲載されています。歴史から、製造工程(図入り)、将来像などです。 ...続きを読む
あなたの質問しているのは、ICやLSIに使用されている化合物半導体のことだと思います。富士通カンタムデバイス株式会社のサイトに、初心者向けの解説書が掲載されています。歴史から、製造工程(図入り)、将来像などです。
  • 回答No.4
レベル8

ベストアンサー率 22% (14/63)

インテルのホームページです。 結構簡単に記載されているので、わかりやすいと思います。 ...続きを読む
インテルのホームページです。
結構簡単に記載されているので、わかりやすいと思います。
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