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半導体製造装置の部品の「再生」とは
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前後を読まないとなんとも言えませんが > 半導体製造装置の部品を洗浄して「再生」 製造に使用したことで不純物等で汚染され、製造に悪影響を与えるようになった装置を綺麗にして、再び製造に利用できるようにする あるいは、↓に使う「再生成装置」を「洗浄する」という文であるとか。 > 材料(シリコンのインゴットなどのこと？)を「再生」(regeneration) 化学変化させたり、粉砕したりしたり、熱や薬品で溶かしたりしたもののから「再生成(regeneration)」する ではないでしょうか。
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- foomufoomu
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これ↓の4番の意味そのままですが http://dictionary.goo.ne.jp/leaf/jn2/85227/m0u/
お礼
4番というのは「廃物を加工して、再び同種のものをつくり出すこと」ですね。 ただ、質問に書いた文献では「廃物」ではないと思うのですね。 ありがとうございました。
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