締切済み

HMDS（ヘキサメチルジシラン）が及ぼす人体への悪影響について

2001/07/25 15:37

HMDS（ヘキサメチルジシラン）が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS（ヘキサメチルジシラン）という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。