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HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響について

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HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS(ヘキサメチルジシラン)という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。
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