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融点に達した薄膜

　教えてください！！Si上にスパッタした金属薄膜（インジウムやアルミニウム）を高真空中で融点以上まで加熱しようと思う（Siに対する液体金属の濡れ性をみたいのです）のですが、やったことのある方はいませんか？ 　また、当然Siも高温になる訳ですが、それによってSiと薄膜金属が合金になってしまう可能性はあるでしょうか？

みんなの回答

  • sanori
  • ベストアンサー率48% (5664/11798)
回答No.1

Ｓｉ上にアルミニウムをスパッタしたものをアルミニウムの融点以上に加熱すると、アルミニウムは、でろでろに融けます。 融点以上に上げると、真空チャンバー内壁がアルミニウムで汚染されますし、いったん汚染したものを洗浄するのは困難な作業になります。ですから、例えば集積回路を作るための工程に用いるようなきれいなチャンバーであれば、やめといたほうがいいです。 なお、アルミニウムは、Ｓｉ表面と若干、合金化反応します。 飽和固溶濃度は知りませんが、恐らく、アルミ１に対して数％のＳｉが融けるぐらいではないかと思います。

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