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成膜装置で，混ぜちゃいけない元素
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- るな（@YuxuArts）
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スズは蒸発性が低いため、効率が悪く、成膜速度が低くなりますね。 あとスパッタ成膜では、バックスプラッシュと呼ばれる現象が発生します。スズの場合、バックスプラッシュが他の成分と混ざって膜の品質を悪化させることがありますね。多分。
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