Siイメージセンサ(フィルタなし)なのに近赤外感度

2020/10/25 08:09

このQ&Aのポイント

Siイメージセンサ(フィルタなし)なのに近赤外感度がないという事実について疑問が生じました。
実際に素子のデータシートを確認すると、近赤外に対する感度がなくて意外でした。
一方、SiPDの受光感度(A/W)スペクトルは近赤外検出が得意であることを示しています。この違いはどのような原因によるものなのでしょうか？

jPTrsseq
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監視・センサ
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ohkawa3
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2020/10/25 08:48 回答No.1

参考URLの資料のp.107では、一般的な裏面入射型のシリコンイメージセンサの場合、シリコン層の厚さが15～30μm程度しかないので、近赤外域の感度が低下する旨説明されています。これに対して、シリコンフォトダイオードでは、構造的に十分なシリコン層の厚さが確保できるので、シリコンのバンドギャップで決まる波長1.1μm前後の近赤外域まで、理想に近い感度特性が確保されるように思います。