高真空でのマグネトロンスパッタの放電について
- マグネトロンスパッタにおいて、誘電体薄膜の作製で放電がうまく行えない問題が発生しています。
- アルゴンガスの導入を増やすことができないため、放電の改善方法を探しています。
- トリガーの導入により、放電がしやすくなる可能性があると言われています。
- 締切済み
高真空でのマグネトロンスパッタの放電
スパッタにて誘電体薄膜を作製しているのですが、うまく放電させる事ができません。 アルゴンガスの導入を多くすると放電するのですが、プロセスは高真空(10^-3～10^-4Torr位)で行う為ガスの導入を増やすことは出来ません。 このような場合、どうすれば放電がしやすくなるのでしょうか？ また、トリガーの様なものがあると聞いたのですがご存知のかたがいらっしゃいましたらご教授下さい。
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まず岩質系のグラキンに(マナエッグからでも生成可)スパンキングし、叩きなめします、そこに水系マナエッグで、成分合成しミケロマを作ります。(ミケロマキシマムは不可)さらにこれらを強制的に合成し、マグネトロンを作る事が出来ます。ﾄﾘｶﾞｰみたいなもの(サンダーダガー)はありますが、これはパチ物です。生成するには炉を使うといいでしょう！(マナ加工機) 参考文献：(民明書房 具蘭Ｄ亜 貴方のマナに抱かれたい 1919頁抜粋)
専門外なので突っ込まれると浅いですが・・・ 放電電極とターゲット間の距離が足りないということはないでしょうか。 また、放電はスタートが一番難しく、一度放電を開始してしまうとその維持 はスタートほどは難しくありません。 とにかく放電をスタートさせるためには、下記の方法が考えられます。 １．一時的にガスを濃くする ２．トリガ火花を与える ３．非放電状態にマッチングさせる １と２は膜に悪影響を与えそうですが、３はうまくやると膜質にあまり 影響しないと思われます。非放電状態は炉内のインピーダンスが高く、 形状にも拠りますが容量性だったりします。その状態ではパワーが入らず 放電が開始しませんが、容量をキャンセルするようなマッチングが作り 出せれば、放電に必要な非常に高い電圧が炉内に生じます。 放電が始まると一気にインピーダンスが下がるのでせっかくのマッチングが 崩れて、パワーが入らなくなり放電が止まってしまうことがあります。 このあたりは導波管の長さなどを最適化することでインピーダンスの 不連続を避けることができそうな気がします。 上記は周波数や炉のサイズや構造などによってはまったく当てはまらない こともあります。断定的な書き方をしましたが、全て「可能性がある」と いう意味で解釈してください。
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