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基板の微細加工
ガラス基板で実験用のスリット状の電極を作ろうとしています。 求められている条件は次の通りです。 １．電極間スキマは、５～２５μｍ±５％（目標は５μｍ）。 ２．電極の断面は、機械で加工したような直角でエッジが付いた断面が欲しい。 ３．ガラス基板には多少のキズが付いても構わない。 このような加工は出来るのでしょうか？ よろしくお願いします。 後からダイサーで溝を入れたり、 予めスリットの部分にパターン(電極)が付かないようにマスキングをしたり、 ・・・と、何通りか方法があるようです。 この質問は、一旦締め切らせていただきます。
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ガラスに溝を入れるような加工と考えていいのでしょうか。
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