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基板の微細加工

  • 質問No.9455933
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ガラス基板で実験用のスリット状の電極を作ろうとしています。
求められている条件は次の通りです。
1.電極間スキマは、5~25μm±5%(目標は5μm)。
2.電極の断面は、機械で加工したような直角でエッジが付いた断面が欲しい。
3.ガラス基板には多少のキズが付いても構わない。
このような加工は出来るのでしょうか?
よろしくお願いします。

後からダイサーで溝を入れたり、
予めスリットの部分にパターン(電極)が付かないようにマスキングをしたり、
・・・と、何通りか方法があるようです。
この質問は、一旦締め切らせていただきます。

回答 (全1件)

  • 回答No.1
ガラスに溝を入れるような加工と考えていいのでしょうか。
補足コメント
noname#230358
できたら、パターンだけに5~25μmを作りたいのですが、
ガラスに多少の溝やキズがついても構いません。
よろしくお願いします。
投稿日時:2007/02/18 20:40
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