装置の振動を算出したいが、どうしたらよいの？

質問

現在、半導体の測定機器の設計を行っております。
新規装置の振動（Hz）を概略で算出したいのですがどのような数値及びデータが必要でしょうか？
ちなみに、装置は上部から見て左右（X軸方向）、上下（Y軸方向）にステッピングモータにて駆動する機構を備えており、その先端に約５０?のユニットが取付けられています。
また、移動速度は、左右、上下移動とも、最大で３００ｍｍ/secの速度で１５００ｍｍ程度、先端のユニットを移動します
このような少ないデータで、算出は可能ですか？
振動に対して、知見がありませんので、よろしくお願い致します。

回答No.1

noname#230359 · ベストアンサー

極単純に動力源が１５００ｒｐｍのモーターであれば、その回転成分25Hzや電源周波数がでるだろし、ユニットが３０回/分のサイクルで移動するならば0.5Hzだと思います。
構成部品の固有振動数や伝達関数から計算するのは困難だと思います。計算できたとしてもその値が実測値ぴったりにはならないと思います。

お礼

ご回答、大変ありがとうございました。
知見のない私には、非常に分かりやすいご説明です。
算出では、かなり難しいということも分かり、実機の製作後、実測という方法が、一番最短ではないかと思いました。
大変ありがとうございました。

回答No.2

noname#230359

片持ち梁の固有振動数の回答事例がありました。
http://oshiete1.goo.ne.jp/kotaeru.php3?q=1909637

より詳しくはこのページが参考になります。
http://www.newport-japan.jp/pdf/vc_0850.pdf

ただし、想定されているみたいな装置ですと、根元の剛性と
ガタに大きく影響され、梁自身の振動より非常に低い
周波数にてアームが振動すると思われます。
よって、予圧式のレールやボールネジなどを進めます。
なお、半導体分野では、クリーン度も要求され
使用出来る部品も限定されますね

詳細に検討したい場合は、
以下のアドレスで、解析プログラムのお試し版を
提供してくれます。
期間に制限がありますが、簡単ですので直に
使いこなせると思います。
http://www.cybernet.co.jp/designspace/

お礼

丁寧な、アドバイスありがとうございました。
装置の機構としては、ちよださんのご指摘の通り、ボールネジ（ロボット）にて検討しております。
ご紹介のありました、解析プログラムにて一度検討してみたいと思います。
大変、ありがとうございました。