装置の振動を算出する方法と必要なデータは？
- 現在、半導体の測定機器の設計を行っており、新規装置の振動（Hz）を概略で算出したいです。装置は上下左右に駆動する機構を備えており、移動速度は最大で300mm/secです。
- 装置の振動を算出するためには、上下左右の移動速度と振動ユニットの取り付け位置が必要です。装置は最大で1500mm程度移動するため、少ないデータでも算出可能です。
- 振動に関する知見がない場合でも、装置の上下左右の移動速度と振動ユニットの取り付け位置を元に振動を算出することができます。どうぞよろしくお願いします。
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装置の振動を算出したいが、どうしたらよいの？
現在、半導体の測定機器の設計を行っております。 新規装置の振動（Hz）を概略で算出したいのですがどのような数値及びデータが必要でしょうか？ ちなみに、装置は上部から見て左右（X軸方向）、上下（Y軸方向）にステッピングモータにて駆動する機構を備えており、その先端に約５０?のユニットが取付けられています。 また、移動速度は、左右、上下移動とも、最大で３００ｍｍ/secの速度で１５００ｍｍ程度、先端のユニットを移動します このような少ないデータで、算出は可能ですか？ 振動に対して、知見がありませんので、よろしくお願い致します。
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極単純に動力源が１５００ｒｐｍのモーターであれば、その回転成分25Hzや電源周波数がでるだろし、ユニットが３０回/分のサイクルで移動するならば0.5Hzだと思います。 構成部品の固有振動数や伝達関数から計算するのは困難だと思います。計算できたとしてもその値が実測値ぴったりにはならないと思います。
その他の回答 (1)
片持ち梁の固有振動数の回答事例がありました。 http://oshiete1.goo.ne.jp/kotaeru.php3?q=1909637 より詳しくはこのページが参考になります。 http://www.newport-japan.jp/pdf/vc_0850.pdf ただし、想定されているみたいな装置ですと、根元の剛性と ガタに大きく影響され、梁自身の振動より非常に低い 周波数にてアームが振動すると思われます。 よって、予圧式のレールやボールネジなどを進めます。 なお、半導体分野では、クリーン度も要求され 使用出来る部品も限定されますね 詳細に検討したい場合は、 以下のアドレスで、解析プログラムのお試し版を 提供してくれます。 期間に制限がありますが、簡単ですので直に 使いこなせると思います。 http://www.cybernet.co.jp/designspace/
お礼
丁寧な、アドバイスありがとうございました。 装置の機構としては、ちよださんのご指摘の通り、ボールネジ（ロボット）にて検討しております。 ご紹介のありました、解析プログラムにて一度検討してみたいと思います。 大変、ありがとうございました。
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