アセトン洗浄について

質問

Siウェハーまたはスライドガラスの表面の洗浄なのですが、本来は酸素を流しながら、ＵＶ放射を行い、このときにできるオゾンで表面にある有機性分子を破壊したいのですが、その装置が手に入りません。そこで、有機溶媒を溶かし、さらに揮発性のあるアセトンを使用すればそれに換わるものになるかと思うのですが、可能なのでしょうか？

回答No.4

mojitto

＃３です。
洗浄は濃硝酸のみです。文章を見てわかりませんでしたか？？？

また＃２様は過酸化物を使えばよいのではないかとご指摘をされているのに、そのレスはちょっと失礼ですよ。それに＃２様は洗浄のレベルを聞いているのにそれに対する補足はないですね。

＃１様に関してはシリコンウェハーに関してと前置きがしてあります。ガラスに関して適用可能かどうかはご自身で検証してみるべきです。

私を含めて回答された方々は洗浄に関しての専門家やプロではないと思われます。しかし学んだこと、経験をもとにあなたに役立ててもらいたいとアドバイスをしています。それに対して有効な方法を検討、検証するのはあなたの仕事です。

補足

洗浄は濃硝酸のみです。文章を見てわかりませんでしたか？？？についての解答。見ただけではわかりません。ほかにも知っていたら教えてほしいと思って聞いています。自分が伝えようとしていることがすべて相手に伝わっていると思ったら大間違いですよ。しかも2行くらいの文章で。
　過酸化物を使えばよいのではないかとご指摘をされているのに、そのレスはちょっと失礼ですよ。それに＃２様は洗浄のレベルを聞いているのにそれに対する補足はないですね。についての解答。何が失礼なのかがわかりません。しかもあなたに聞いてません。shota TKさんとの会話はどうなるんですか？
　シリコンウェハーに関してと前置きがしてあります。ガラスに関して適用可能かどうかはご自身で検証してみるべきです。についての解答。もちろんです。答えを求めているわけではありません。きっかけが得られればと思って聞いています。シリコンウェハーに関してと前置きがあるとおっしゃりましたが、そのような前提があるならスライドガラスについても知っているかもしれないと思って聞いています。上でも言いましたが、あなたには聞いてません。あなたは2人のことをよくご存知なんですか？何をやっているとかをご存知なんですか？さも、彼らがどういういうことを知っているかをすべて知っているかのように話されますね。
　私を含めて回答された方々は洗浄に関しての専門家やプロではないと思われます。しかし学んだこと、経験をもとにあなたに役立ててもらいたいとアドバイスをしています。それに対して有効な方法を検討、検証するのはあなたの仕事です。についての解答。そんなことは言われなくてもわかります。
　あなたは書いてあることがすべてだと思ってるんですか？こうかもしれないとか考えないんですか？あなたの書いていることはあくまであなたの考えであって、彼らの考えではありません。失礼に思うのは彼らであってあなたではありません。彼らから直接指摘があるならわかりますが。自分は彼らに聞いているのです。

回答No.3

mojitto

Siウェハーは使えるかどうかわかりませんが、スライドガラスに関しては硝酸脱脂をしていました。
濃硝酸にスライドガラスを入れ、一晩放置したものを超純水で洗浄したものを使いました。
ただ、実験の精度によっては不十分かもしれませんね。自信はないです。少なくとも単分子膜生成の基盤としては問題なかったですが…

補足

スライドガラスの洗浄工程は濃硝酸による洗浄だけなんですか？

回答No.2

shota_TK

最初に表面に付着してる有機性分子の量的なレベルはどの程度なのでしょうか。

油でギトギト、というような状態ならば、その方法でもいいのかも知れませんが、ほんのわずかに付着している程度ならば、かえって逆効果になると思いますよ。

アセトンも有機化合物であり、揮発しても表面にわずかに残留すると思います。

素人考えですが、どうしてもオゾン分解ができないなら、過酸化物などを使った方いいような気がします。

補足

アセトン洗浄の後に硫酸と過酸化水素水の混合物で酸化させているのですが、それをすればほぼ問題ないということなんですかね？

回答No.1

TEOS

シリコンウエハーの洗浄は、目の前でやっているので
見てはいますが、自分ではやったこと無いので、自信は
有りません。　私の所では、希釈したフッ酸で洗って、
超純水で洗っていると思います。

詳しくなくて　ゴメンね。

金属容器の洗浄では、電子工業用アセトンで洗い、
最後に超純水で洗い流し、溶出金属分？をｐｐｂ以下に
してました。

補足

ふっ酸はスライドガラスにも使えるのでしょうか？