基板上の薄膜成長のために堆積させる「蒸気」とは

質問

分子線エピキタシー法について調べたりしています。

http://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%88%86%E5%AD%90%E7%B7%9A%E3%82%A8%E3%83%94%E3%82%BF%E3%82%AD%E3%82%B7%E3%83%BC%E6%B3%95

この分子線エピキタシー法では、蒸着材料を蒸発または昇華させた「・・・」を基板に堆積させて薄膜を成長させる、と説明されています。
ここの「・・・」の部分ですが、「蒸気」とか「蒸発分子」という言葉を使っている文献があります。

蒸着材料を「蒸発」させた場合に、「蒸気」とか「蒸発分子」というのはわかりますが、
蒸着材料を「昇華」させた場合でも、「蒸気」とか「蒸発分子」といってよいのでしょうか(言葉の使い方についてですが疑問ですので教えてください) ?

回答No.1

noname#210617 · ベストアンサー

ついでに昇華についても調べて見れば、

http://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%98%87%E8%8F%AF_(%E5%8C%96%E5%AD%A6)

元素や化合物が液体を経ずに固体から気体、または気体から固体へと相転移する現象

なんだから、ええんでないの。

お礼

ありがとうございました。