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シリコンウェハの結晶方位

シリコン基板が(100)面でカットしてあるシリコンウェハがあるとします。 (1)の方向のように、オリフラ方向からシリコンウェハの側面を見た場合、 結晶面(ミラー指数)はどのように表されるでしょうか? 同様に、オリフラ以外の方向((2)~(8)からシリコンウェハの側面を見た場合、 結晶面(ミラー指数)はどのように表されるでしょうか? また、シリコンウェハの側面から見たとき、 シリコン原子が最も多く見えるミラー指数はどのように表されるでしょうか? いびつなAAで申し訳ありません。 また、質問も多く、申し訳ありません。一部の回答でも歓迎です。 回答の根拠となるwebページを紹介されても結構です。                    ↓(4)                _,,.. -──‐- .、.._.            ,. ‐''"´           ``'‐.、 (5)         ,.‐´                 `‐.、        (6)           /                          \.        ,i´                           `:、       /                                ヽ.     ,i                                i、     .i                                     i.    .i                                  l (2)  |                                   |. →  |                                       |  ←(3)    |                                   | .   l                                  l. .    i、                                 ,i .    i、                                ,! (7)   ヽ                                /   (8)       `:、                           ,‐'              \_______________/                   ↑(1)

みんなの回答

  • shintaro-2
  • ベストアンサー率36% (2266/6245)
回答No.3

>シリコンウェハの表面から見た方位しか書いていないようですが・・・。 下にある110だと思ったのですが そうでないにしても、100と110があればオリフラの面指数もでるのでは? 最近計算してないので出し方すら忘れました ^_^;

  • wata717
  • ベストアンサー率44% (72/161)
回答No.2

私は老人でオリフラという日本語がわかりません。図もよくわかりません。RHEEDの回折パターンでしょうか。 どちらにしても結晶方位はX線回折の本に記載のステレオ投影で完全に記述されます。

  • shintaro-2
  • ベストアンサー率36% (2266/6245)
回答No.1
neutron
質問者

補足

シリコンウェハの表面から見た方位しか書いていないようですが・・・。 どこに側面から見た方位が書いていますか? (結晶は専門外でよくわかりません。)

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