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銅メッキ膜の結晶配向性について
- 銅メッキ膜の結晶配向性に関する基本的な考え方をまとめると、fcc薄膜では表面および界面のエネルギー最小化が(111)構造の優位性を生み出し、ひずみエネルギー最小化が(200)構造の優位性を生み出していることが分かります。
- 表面および界面のエネルギー最小化とは、薄膜の表面や境界におけるエネルギーを最小化することを意味します。この最小化によって、薄膜の結晶配向性が(111)構造として形成されます。
- 一方、ひずみエネルギー最小化とは、薄膜中のひずみエネルギーを最小化することを指します。ひずみエネルギーは薄膜の結晶格子の歪みに関連しており、この最小化によって(200)構造の優位性が生じます。
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