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ポリプロピレンの

現在フッ素樹脂の溶液を用いてSiウエハ上に薄膜を作っております． （コーティングしてベークして固めてます） 最近，フッ素樹脂ではなくポリプロピレンを使おうかと考えるようになったのですが ポリプロピレンで同様の溶液は存在するのでしょうか？ （ディスパージョン，というものかと思うのですが）

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質問者が選んだベストアンサー

  • ベストアンサー
回答No.1

市販でそのような都合にちょうど良い物があるかは分かりませんが、 ＰＰが溶解できる適当な溶媒に濃度を計算して調合すればごく簡単な ことだと思います。ただ、ＰＰは融点や分解点がそんなに高くありません ので、ベーク工程での温度や加熱速度をあまり高温にしないよう注意 しましょう。

creamyfrst
質問者

お礼

ありがとうございます． 溶媒探しや濃度計算などの知識はあまりないのですが いろいろとやってみようと思います．

その他の回答 (1)

回答No.2

A No.1です。 既に使っているフッ素樹脂溶液（カタログもしくは現品パッケージ等）に 書いてある濃度を参考にしてある程度目安は付くと思います。 もちろん、単純に同じにすれば良いというわけでもないでしょうが、 研究開発でしたら最良の条件を見つけるために色々試されてはと 思います。 納品してくる業者に分子量や濃度で見合うものがあるか問い合わせる のも良いでしょう。

creamyfrst
質問者

お礼

アドバイスありがとうございました。

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