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ポリイミド膜
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京セラのKEMITITE CT4112と言うのは使った事が無いので、粘度も分かりませんし一般的と思われる事しか書けませんが...。 スピンコートで塗るなら低速で少し広げてから、高速にした方が良いのは間違いありません。あとは、メーカーに聞いたら言われるはずなので使っているとは思いますが、適切な径のフィルターで漉しながら使った方が薄くした際に滑らかです。 薄くした際にピンホールが開くなら、溶剤で薄めた方が良いと思います。よほど汚れた物に塗布してるわけで無ければ、数百nmから1μm程度ならそれで普通に得られると思いますが、どうでしょうか。キュア条件や塗布条件など、メーカーに問い合わせれば一発だと思いますが...？
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