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実験室のX線？大型放射光施設？
シリコン基板上の非晶質シリカ薄膜（膜厚100nm程度）の 動径分布関数を測定しようと考えています。 おそらく微小角入射X線散乱で測定するのだと思うのですが、 この測定は実験室のCuKαのX線で測定可能でしょうか？ それともSpring-8のような大型放射光施設でなければ 不可能でしょうか？ 時間がかかるが実験室で可能という話であれば、 実験室で済ませてしまいたいのですが‥‥。 また、このような測定に関して何かアドバイスがあれば 是非ご教授願いたいです。 ・測定の困難性 ・大型放射光施設のマシンタイムの取り方など 以上、宜しくお願い致します。
- jfcusson
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