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コンバージョンファクター

kei533の回答

  • kei533
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回答No.1

マスフローコントローラはガスの物性値(比熱、密度)でセンサーの感度が異なります。窒素ガスの測定値を水素に補正するときの係数がコンバージョンファクター(あるいは補正係数、CF)になりますが、水素と窒素では物性値が大きく異なりCFは大きすぎ、通常は同一のセンサーでは測定できないようです。取り付けられているマスフローコントローラがそれらをカバーしているかも知れませんので、メーカがどこか現物を調べ、直接問い合わせるべきでしょう。 http://www.compoclub.com/support/faq/faq_mf.html#15

参考URL:
http://www.mr-techno.co.jp/heliumgass-meter.htm
johnplayer
質問者

お礼

回答ありがとうございます。大変参考になりました。 メーカに問い合わせしてみます。今後も宜しく御願い致します。

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