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コンバージョンファクター
janjの回答
コンバージョンファクター表（CF表）は下記の通りです（英文）。 通常、窒素のＣＦを１としています。 http://www.mksinst.com/GasConversionTable.html 換算法ですが・・・上記HPのFAQに計算例が記述されておりますが、例えば、アルゴンガスで校正された最大流量100sccmのマスフローコントローラー（MFC）を用いて炭酸ガスを流した場合、実際の流量は下記のようになります。 （炭酸ガスのＣＦ÷アルゴンのＣＦ）×設定流量(sccm) ＝実際の流量(sccm) （０．７÷１．３９）×５０(sccm)＝約２５(sccm) 質問のケースですが、窒素と水素のＣＦはそれぞれ、１と１．０１ですのでほぼ同じです。従いまして事実上、換算の必要はありません。ただし、別の回答者の方のように、換算や設定だけでは対応できない場合もあるようなので、MFCのメーカーに問い合わせた方が無難です。 これまで私は、CFの表を元に自分で換算するタイプの機種と、MFC用電源装置側で、ガス種に対応するCFの値を設定すると自動的に換算してくれる機種の２機種を使用したことがあります。後者ですとわざわざ換算する必要がありません。
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お礼
回答ありがとうございました。大変参考になりました。今後とも宜しく御願い致します。