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QCMの電極

nasubonの回答

  • nasubon
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回答No.1

QCMメーカーの水晶振動子でシリコンを成膜したものは見たことがありません。するとしたらCVDで成膜する方法が考えられますが、必要なのは単結晶膜ですか?それによっても可能不可能が決まると思います。

polyester
質問者

補足

回答ありがとうございます。シリコン表面というのは電極自体がシリコンという意味で用いました。

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