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膜厚測定
化学分析の初心者です。基本的なことだと思いますが、 もしご存知の方がいらしたら教えてください。 薄膜の膜厚測定にFT-IRの使用を考えています。 担当者より膜厚への換算式はランバート・ベールの法則により導けるとアドバイスをもらいました。 A＝αLC （A:吸光度 α：吸光係数 L:サンプルセルの光路差 C:サンプル濃度） 式を調べましたが、この式は液体を想定しているように思えます。薄膜の場合、上式の A:吸光度 C：サンプル濃度 α：吸係数 はどのように決めれば良いのでしょうか？
- tasuke2005
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A：吸光度が実測する値です。 αやCはわからないので、同じ素材で厚さがわかっている膜をあらかじめ測定しておく必要があります。その値を測定値と比べれば膜厚がわかるということでしょう。
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