ウエハの反りと荷重
- ウエハの反りと荷重についてご質問です。反っている丸いウエハと反りの無い平らなウエハがありますが、荷重をかけて同じ反り量にするにはどのように計算すればいいのでしょうか？
- ウエハの反りと荷重についてのご質問です。荷重をかけて平らなウエハを反りのあるウエハと同じ反り量にするには、どのような計算が必要なのでしょうか？
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ウエハの反りと荷重
ガラス、Si等の反っている丸いウエハと反りの無いウエハがあります。反りの無い平らなウエハに荷重をかけて同じ反り量にする場合、荷重はどのように計算すればいいのでしょうか？ ヤング率等から算出できるものでしょうか？ アドバイスお願いします。
- ガラス
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形状，寸法，材料の機械的性質（ヤング率，ポアソン比），支持方法，荷重条件などが判り，特定の力学モデルであれば，最大たわみ及び最大曲げ応力は計算できます。材料力学の本にあると思いますので，確認してください。
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