TiCNとTiAlNの電気抵抗率

質問

TiとTiNの電気抵抗率は探せたのですが、表記のTiCNとTiAlNの電気抵抗率がいくら探しても見つかりませんでした。
私の探し方が悪いと思いますが、どなたかご存知の方、もしくは掲載されているHPなどをご存知の方、いらっしゃいましたらご教示お願いいたします。
たぶん、CとNの割合で電気抵抗率が変わってしまいそうな気がしますが、それを含めて具体的な数値がわかるとありがたいです。
よろしくお願いします。

回答No.1

akz01 · ベストアンサー

titanium carbonitrideの電気伝導率は、E. Barbierらの論文（J. Mater. Sci. 1992, 27, 2383）に実験値が載っています。

TiC(1-x)N(x)の伝導率σ[Ω^-1 cm^-1]
σ=14130+10000x

titanium aluminium nitrideの比抵抗は、V. Chawlaらの論文（J. Alloys Compd. 2010, 507, L47）にあります。
（ただしPVDによる、1.3～4.3μm程度の薄膜ですのでご注意ください）

7点ほどの実験値が出ています。
Alの比率が0.73を超えたあたりで急激に抵抗が高くなっています。
Al＜0.73では、だいたい1Ω cm前後、Al＞0.78では6～8Ω cm。
　Ti(0.27)Al(0.73)N＝ 0.9 Ω cm
　Ti(0.22)Al(0.78)N＝ 6.2 Ω cm
詳しいことは論文をご参照ください。

お礼

大変詳しく教えていただき、ありがとうございます。
早速論文を入手し、現在読んでいるところです。
本当に助かりました。