太陽電池、薄膜作製技術

質問

薄膜を作製する際の技術で、多元蒸着法というのがありますが原理など教えてください
長所・短所などがありましたら教えてください

回答No.1

semikuma

真空蒸着法といって、真空チャンパ内で金などの原料を加熱して蒸発させ、基板に付着させて薄膜を作る技術があります。
"多元"蒸着法とは、その名の通り複数の原料を蒸発させるものです。
基板を加熱すれば、薄膜を結晶化させることも可能です。
原料の蒸気圧が同程度であれば、膜厚や組成などの制御性が良い、装置の機構が簡単でよいというメリットがあります。
デメリットとしては、大面積化が困難、Seのように反応性に乏しい材料は原料効率が悪い、といったところですね。

参考URL：

http://www.aist.go.jp/aist_j/aistinfo/aist_today/vol07_07/p14.html