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銅析出膜における凝集作用について

凝集作用によって銅膜の付着強度が変化すると書いてあったのですが、凝集作用ってどういうことなのでしょうか?教えてください。

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  • tetujin3
  • ベストアンサー率47% (116/246)
回答No.2

>凝集作用はなぜ起こるのでしょうか? 凝集は何故?というご質問と思います。 メッキ,およびPVDにおいてそれぞれメカニズムは異なるのですが,PVDの場合で代表させて回答すると, コーティングの際の雰囲気圧力が高ければ,スパッタ粒子(蒸着クラスター粒子)は,雰囲気中のガス分子と衝突し,飛翔する方向が変化します。(これが付きまわりが向上する理由です)。一方向に飛翔していた粒子が,ランダムな方向に向かえば,クラスター粒子同士の衝突も当然のことながら,起りやすくなります。 衝突したクラスター粒子は,合体して核を形成し,気相中でも析出するようになります。・・・これがPVDにおいてデンドライド状の皮膜の形成メカニズムです。(おそらく,この現象を凝集作用?とおっしゃっているものと推測しますが・・・・はずしてました????

hashiman
質問者

お礼

ありがとうございました。イメージがかなりつかめました。すごい知識の持ち主なんですね。尊敬してしまいます。

その他の回答 (1)

  • tetujin3
  • ベストアンサー率47% (116/246)
回答No.1

コーティング方法は,電気めっき,PVDのいずれかであると思います。いずれの方法においても,銅粒子が水溶液中,,あるいは気相中で凝集すれば,コーティング膜は,不均一な膜厚,かつ,デンドライドや,粒状の粗い膜となってしまうでしょう。 一般に,コーティング膜厚の部分的なばらつきは,膜の凹凸に応じたコーティング膜の部分的な集中応力が起り,密着性(付着強度)が阻害されます。 早すぎる析出速度が主な原因ですから,インヒビターを使用するなり,PVDの場合には析出速度を低下させて,核形成を基材表面に限定するために,蒸着の雰囲気圧力を低下させるなどが対策として考えられます。 はずしていたら・・・・ゴメンナサイ

hashiman
質問者

お礼

ありがとうございました。だいぶ理解はできたのですが、凝集作用はなぜ起こるのでしょうか?分からなければ、無理されなくてもいいです。すいませんが、お願いします。

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