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レジストの露光時間・感度の単位

レジストの露光時間・感度の単位でよく『カウント』というものを、目にするのですがどういう意味の単位なのかわかりません。 『秒』と同じ意味なんでしょうか？ 詳しいことを知っている方がいたら教えてください。

みんなの回答

  • sanori
  • ベストアンサー率48% (5664/11798)
回答No.1

こんばんは。 その関係の業界から離れてしばらく経ちますので、推測ですが、 おそらく、ステッパーにおけるエキシマレーザのパルスを、レジストに何発当てるかの回数ではないかと想像します。 間違っていたらすみません。 ご参考になりましたら。

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