回折限界

質問

幅200nm、高さ200nm、周期400nmの溝構造に対し
斜め上方から波長337nmのレーザーを照射したとします。

回折限界を考えると、337nmの波長の光は
溝と溝の間（200nm）には入り込まないと考えられます。
（この場合、近接場光は考慮していません）

ここで質問なのですが、溝と溝の間の部分の
337nmの波長の光はどこにいったのでしょう？
溝の上の部分に当たった光は吸収、反射や散乱が考えられますが、
溝と溝の間は物質は無いため、吸収、反射や散乱はないと考えられます。上記のように溝と溝の間にも入り込むことができないはずです。

どのような理解をすればいいか分かる方がいれば
ご教示ください。

回答No.1

boobee0125

光学の専門家ではないのでこの問題に的確な回答はできませんが私の理解が参考になれば幸いです。

光は基本的に電磁波ですから電場・磁場の波動として進行し、減衰しない限り物質があれば形状に関係なく到達しますので

＞溝と溝の間（200nm）には入り込まないと考えられます。

。。。ということはありません。光の反射、透過などは光の波の性質を反映して平面波として波面が揃う方向に行われますのが、波長以下の微細構造であっても各境界点毎に反射光、透過光の振幅、位相を計算し、それらを重ね合わせれば特定の方向の反射率が（リクツの上では）計算可能になります。

余談ですがご質問のような微細な周期構造は回折格子（グレーティング）として分光、フレネルレンズ（平面レンズ）、複屈折の実現などに使われます。これには波長より小さい溝や周期のものも使われます