静電駆動アクチュエータのプルイン電圧について

質問

静電駆動アクチュエータのプルイン電圧について質問したいのですが，平行平板のプルイン電圧の計算式はあるのですが，櫛歯型静電アクチュエータのプルイン電圧を求める計算式がわかりません．
駆動電極には簡単な両端固定のサスペンションを利用したいと思っています．
誰か分かる方がいらっしゃれば，ご教授願います．

回答No.2

inara1

MEMS関係の方ですか？私は元MEMSエンジニアです。
＞なぜプルイン電圧は存在しないのでしょうか？
櫛歯の長さ方向にしか動かない静電アクチュエータの場合、可動電極の位置と静電容量が比例関係にあるので、可動電極がどこにあっても、安定平衡点が存在するからです。平行平板型の場合には、電極の静電容量は可動電極（平板）の位置に反比例するので、電圧を印加したときの電極間距離が、電圧を印加していないときの電極間距離の2/3未満になると、静電引力 ＞ 弾性反発力となって、電極同士がくっついてしまう（プルイン）状態になります。数式を使って説明することもできますがそういう回答をお望みですか？

お礼

分かりやすい説明有難うございます．
十二分に理解できました．

MEMS関係といえばMEMS関係なのですが，まだ素人なもので
どうも有難うございました．

回答No.1

inara1

櫛歯が長手（縦）方向にしか動かないタイプの静電駆動アクチュエータにはプルイン電圧は存在しません（櫛歯の端部の影響を無視した場合）。櫛歯が横方向に動く場合ですか？

補足

縦方向なんですけど，なぜプルイン電圧は存在しないのでしょうか？
素人質問ですみません．．