チタンの腐食方法について

質問

光学顕微鏡で観察する際の最適な腐食液、及び最適時間、温度について教えてください。5％フッ酸を使っているのですが、腐食むらができたり、過腐食になってしまいます。粒界をはっきりと観察したいと考えてます。

回答No.1

ugajzx

半導体に関わる仕事をしている者です。あまり役に立たないかもしれないですが、TiNを溶解させるのにNH4OH+H2O2+H2Oを使っています。濃度は詳細を書くことはできませんが、NH4OH,H2O2ともに数%です。温度は30℃程度です。もしよかったら試してみて下さい。

お礼

早速のお返事、ありがとうございます。
濃度の詳細が分かると本当に助かるのですが...
そのあたりは試行錯誤でとりあえずやってみます。

補足

フッ酸-3,硝酸-6,蒸留水-100でチタンを腐食されたことのある方、いらっしゃいませんか？もしいらっしゃったら、どんな感じかと、最適な腐食時間を教えてくれませんか？