- 締切済み
ポリマーフィルムの膜厚
ポリスチレン(PS)とかポリメチルメタクリレート(PMMA)などの溶液をスピンコートを用いて、ガラス基板上に薄膜を作ろうとしているのですが、濃度と膜厚と回転速度の関係がわかりません。 よく用いられるポリマーについて、こういったデータベースがどこかにありませんか?或いは単純な関係式がないでしょうか?
- john_stockton
- お礼率33% (2/6)
- 化学
- 回答数3
- ありがとう数2
- みんなの回答 (3)
- 専門家の回答
みんなの回答
- BOB-RooK
- ベストアンサー率24% (63/261)
確かにどこかに実験データの値はありそうですよね・・・でも、やはり自分の実験条件で検量線を作るべきです。回転数は1水準ですか?多分そのレベルだと膜面内の膜厚分布は気にならないかと思いますので、重量法で平均膜厚は出ますよね。 多分、いろいろな方がいろいろなノウハウをお持ちでしょうから、まずはいろいろな情報を探るのが一番かと思います。回転数のルートにはある範囲では膜厚は直線になります。それでも・・・と、いう先は実験を重ねると因子が分かるかと思います。ここで単純化して話せるほど単純ではありません。
データベースのようなものはないと思いますよ。 何せパラメータが多すぎますよね。ちょっと考えただけでも、溶液濃度、溶媒の粘度、比重及び蒸気圧、溶媒に対するポリマーの溶解性、溶液の粘度、薄膜作製環境の温度、ガラス基板と溶液との濡れ性(=溶液の表面張力)などが関与してくるはずです。 ちなみに、ポリマー(液状)そのものを無溶剤でスピンコートする場合、すなわち揮発しうるものが存在しない場合は、ポリマーの粘度、比重、スピンコートの回転速度及び回転時間をパラメータとする経験式が存在します。ちょっと複雑な関係式なのでもう忘れてしまいましたが。 やはり自分で検量線を作成するのがいちばん手っ取り早いと思います。お役に立てなくて申し訳ないです。
- shota_TK
- ベストアンサー率43% (967/2200)
回転速度については, 「膜厚は回転速度の平方根に対して逆比例する」と言われています. 確認してみて下さい. 濃度については, ちょっと調べてみましたが,データベースや関係式はなさそうです. 濃度の値が大きく違わない範囲なら,膜厚と濃度は比例しそうですね. ただ,濃度が大きくなると,粘度も上昇しますので, 「膜厚は濃度の1.5乗に比例」のような関係になりそうです. ポリマーの場合,同じ材料であっても,メーカーやグレードによって 分子の長さや添加剤が異なりますので,データベースを作りにくいですね. また,パラメータも,溶剤の種類,濃度,温度,などと多く, すべてを網羅するような関係式を導出するのは難しいように思います. ご自身で実験されて,ノウハウ的に関係式を決定するのが一番いいと 思うのですが・・・ 参考になれば幸甚です.
関連するQ&A
- ポリマーの分子量?平均分子量?
ポリマー(高分子)化学についてはまったくの素人ですが、仕事上必要となり調べています。PMMAはポリMMAのことらしくMMA(名前は長い)が重合しているとか。PMMAはアクリル板の材料素材のようですが、粉末のPMMAを溶媒に溶かし、ある濃度の溶液を作る必要があるのですが、文献に拠りますと濃度の単位ははM(モーラー:モル パー リットル)となっています。ポリマーとはずっと鎖のように繋がったものと理解していましたので、ポリマーの分子量という意味がよく分かりません。ポリマーの分子量はどのように定義されていますか?また、ある文献にはPMMA-950Kとか書かれていますが、何のことか教えてください。また、ある文献には平均分子量なる用語が出てきましたが、これの定義もついでに教えてください。
- ベストアンサー
- 化学
- スピンコート法について
薄膜の形成方法にスピンコート法があると聞きました。 このスピンコート法を用いるとなぜ薄膜が形成できるのですか? (どのような原理で薄膜を形成するのですか?) また、膜厚を制御するにはどのような条件を変更すればよいのでしょうか? 初歩的な質問で大変申し訳ないのですが、教えてください。
- ベストアンサー
- 電子部品・基板部品
- フォトルミネッセンス測定で
ガラス基板上に製膜したシリコン薄膜のフォトルミネッセンスを 測定したんですが、膜が薄いせいか基板が光ってしまいます。 何かよい方法はないでしょうか?
- ベストアンサー
- 物理学
- バーコーターの使用法
学校でバーコーターを使用して薄膜を作製しているのですが、使用する溶液の濃度、溶媒、固形成分の比重と作製したい薄膜の膜厚はどのような関係があるのでしょうか。まったくわからない素人です・・・。 よろしくお願いいたします。
- 締切済み
- 化学
- 有機ELのスピンコーティング法について
ある論文を読んでいたら、「スピンコーティング法」というものが出てきました。薄膜を作る方法の一つのようなのですが、どのような方法でしょうか? また、この方法で薄膜を作る際、用いる溶液の粘度もしくは濃度が問題となってくるようですが、それはなぜなのでしょうか? 参考HPもしくは文献等も教えていただけるとありがたいです。
- ベストアンサー
- 科学
- フォトレジストの基板密着性について
実験で、熱酸化膜付きのSi基板やガラスにポジ型のフォトレジストをスピンコート塗布~パターニングしてエッチング処理を行っています。 熱酸化膜とフォトレジストの密着性は良いのですが、 ガラス(おそらく石英)とフォトレジストの密着性が悪いです。 どちらもSiO2だと思うのですが、なぜ密着性に差が出るのかご教授いただけませんか。
- 締切済み
- その他(電子・半導体・化学)
- 剥がれにくい金薄膜を作成する方法
絶縁体の上に導電性の金属膜のパターンを型紙などを用いて作成しようとしています. スパッタでガラス上に金を成膜したのですが,簡単に剥がれてしまいます.ガラス上に剥がれにくい金薄膜を作成するテクニックがあれば教えてください. または,基板は絶縁体であれば良いので,ガラス以外で適して基板があれば教えてください. よろしくお願いします.
- ベストアンサー
- 物理学
お礼
ありがとうございます。 「膜厚は回転速度の平方根に対して逆比例する」というのは参考にさせていただきます。 しかし、よく使われているポリマーについては、どこかにデータベースがありそうな気がするのですが・・・