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エッチング

例えば純度が高いシリコンをエッチングする場合と、 不純物を含んだシリコンをエッチングする場合では 不純物を含んだシリコンの方がエッチングレートが早いと 聞きました。 原理的にどのような事が起こっているのでしょうか？ 詳しい方がいらしたら教えてください。

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noname#160321
noname#160321
回答No.1

詳しくはありませんが、常識的なところで…。 不純物をふくむ物質は、１)粒子の境界が有ることが多くその境界部分が容易に浸食されます。2)境界が無くても不純物が不均一に固溶していれば、全体に「電位差」が生じ、これが浸食を容易にします。

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