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ある材料にどれくらいのガス(例えば酸素)が固溶するかということはどのようにして求めるのでしょうか。
inaraの回答
- inara
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ANo.3 です。 [4] ( 固体中への不純物の拡散 ) に誤りがありましたので訂正します。 D = D0*exp{ -q*Ea/( k*T ) } D0 は定数、q は電子の電荷 = 1.60218×10^(-19) [C]、Ea は活性化エネルギー [eV]、k はボルツマン定数 = 1.38066×10^(-23) [J/K]、T は絶対温度 [K] で表わされます。したがって、固体中の不純物原子の濃度分布は、表面からの深さ x と時間 t の他に、温度も加えて、C( T, x, t ) とすれば C( T, x, t ) = C0*erfc【 x/[ 2*√[ D0*exp{ -q*Ea/( k*T ) } *t ] 】 となります。固体中での濃度が表面濃度の例えば 1/e となる距離 x0 を酸化膜厚と定義すれば x0 = a*√( D*t ) (a = 0.1839397206 ) = a*√[ D0*exp{ -q*Ea/( k*T ) } *t ] = a*√( D0*t )*exp{ -q*Ea/( 2*k*T ) } で表わされるので、酸化膜厚 x0 の加熱時間依存と温度依存から、D0 と Ea を求めることができます。
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